喜訊 | 計(jì)量維修部獲榮省科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)
近日，河北省科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)大會(huì)在石家莊召開。省委書記、省人大常委會(huì)主任倪岳峰等領(lǐng)導(dǎo)出席大會(huì)并為代表頒獎(jiǎng)。產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)研究院副院長(zhǎng)趙瑞華作為科研院所代表受邀參加大會(huì)，計(jì)量維修部趙琳作為省科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)獲獎(jiǎng)代表參會(huì)。
趙琳、李鎖印等人主持完成的“微納尺寸線距標(biāo)準(zhǔn)樣片的研制與定值”獲得省科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。該項(xiàng)目面向半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)微納尺寸測(cè)量?jī)x器的校準(zhǔn)需求，研制完成微納量級(jí)多量值復(fù)合型標(biāo)準(zhǔn)樣片，為微納尺寸參數(shù)測(cè)量準(zhǔn)確性提供了保障。在項(xiàng)目研究基礎(chǔ)上，編制并發(fā)布國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《微納米標(biāo)準(zhǔn)樣板（幾何量）》1項(xiàng)，完善了國(guó)家微納米標(biāo)準(zhǔn)樣品體系，相關(guān)技術(shù)進(jìn)行了成果轉(zhuǎn)化。
長(zhǎng)期以來(lái)，計(jì)量維修部立足研究院計(jì)量需求，持續(xù)開展前沿計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究，在技術(shù)水平及保障能力提升方面取得較好成效。后續(xù)，部門也將在已有技術(shù)基礎(chǔ)上，進(jìn)一步做好成果推廣工作，助力研究院院及半導(dǎo)體行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展！
